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J-GLOBAL ID：200903011462085831

感光性化合物

Inventor： 斉藤 雅夫
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 高月 亨
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991055880
Publication number (International publication number)：1993216220
Application date： Feb. 27, 1991
Publication date： Aug. 27, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【構成】本発明の感光性化合物は、メチレン基を介してヒドロキシベンゼン系核が結合してなるオリゴマーに例えばナフトキノンジアジド系の感光基が結合してなるものである。【効果】従来の低分子量バラスト材料よりも多官能化でき、従来の高分子量バラスト材料を用いた場合より形状改善効果を大きくでき、更に解像力の大きな加工を達成できるKrFエキシマレーザー光等による露光光についても有効に適用可能なものである。

Claim (excerpt)：

メチレン基を介してヒドロキシベンゼン系核が結合してなるオリゴマーに感光基が結合してなる感光性化合物。

IPC (2)：

G03F 7/022 ,  H01L 21/027