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J-GLOBAL ID:200903011462886168
走査光学系評価装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
平木 道人 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995200329
Publication number (International publication number):1997033390
Application date: Jul. 14, 1995
Publication date: Feb. 07, 1997
Summary:
【要約】【課題】 主走査方向全域に亘って走査光学系の精度の良い評価を行う。【解決手段】 エリアセンサ9はポリゴンミラー4によって走査されるレーザービームの走査方向に移動可能に設けられる。このエリアセンサ9によるレーザービームの検出信号はCCD駆動回路12によってバッファメモリ13に読み出される。さらに、バッファメモリ13に入力された主走査方向の信号は画像合成部14で副走査方向にコピーされて2次元の画像に展開される。比較演算部16では前記2次元画像とマスタ画像との差分値が求められる。ホストコンピュータ10では前記差分値によってレーザービームの異常を検出し走査装置を評価する。
Claim (excerpt):
複数の受光素子が2次元に配置されてなり、評価対象である走査光学系から放出された光ビームを受光するため、該走査光学系に対して予定の位置関係で配置された少なくとも一つの受光素子アレイと、前記受光素子アレイの出力信号を前記光ビームの変調信号に基づく基準データと比較演算して前記走査光学系の異常を検出する比較演算手段と、前記受光素子アレイに蓄積された受光信号を前記比較演算手段に取り込んだ後、該受光素子アレイを次の受光位置まで前記光ビームの主走査方向に移動させる移動手段とを具備したことを特徴とする走査光学系評価装置。
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