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J-GLOBAL ID：200903011473950607

走査型電子顕微鏡の走査角度自動調整方法および走査角度 自動調整可能な走査型電子顕微鏡

Inventor： 松井 秀信
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996153723
Publication number (International publication number)：1998003876
Application date： Jun. 14, 1996
Publication date： Jan. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】走査型電子顕微鏡において、画像の回転量を自動的に測定し、走査方向を自動的補正するイメージローテーションを提供する。【解決手段】 電子銃12とコンデンサレンズ13と電磁偏向器14と対物レンズ15からなる電子光学系と、可動ステージ21と2次電子検出手段を収容した試料室2と、電子光学制御系31などからなる制御系3と、表示系4からなる走査型電子顕微鏡において、2次電子検出手段の出力に基づいて試料像の回転角度を検出する回転角度検出手段34と、検出した回転角度に基づいて電磁偏向器14に印加される垂直偏向電圧を補正する偏向制御手段35とを備えた。

Claim (excerpt)：

電子銃からの電子線を、試料室内の試料に照射して走査するとともに、試料から放出された二次電子を試料室内の検出器で検出する走査型電子顕微鏡において、試料画像信号を用いて所定の位置からの画像パターンまでの距離を2点で測長して試料像の回転角度データを取得し、該回転角度データを用いて画像を回転させるようにしたことを特徴とする走査型電子顕微鏡の走査角度自動調整方法。

IPC (4)：

H01J 37/22 502 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/147 ,  H01L 21/66

FI (4)：

H01J 37/22 502 C ,  H01J 37/22 502 B ,  H01J 37/147 B ,  H01L 21/66 J