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J-GLOBAL ID:200903011489562038
画像処理方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
小川 勝男
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996075852
Publication number (International publication number):1997265537
Application date: Mar. 29, 1996
Publication date: Oct. 07, 1997
Summary:
【要約】【課題】 繰返し構造を有する対象上に発生した欠陥や異物等の非繰り返し部分を検出し、強調して表示する。【解決手段】 繰返し構造を有する対象をビデオカメラ2により取り込み、A/D変換部3によりディジタルデータに変換し、フレームメモリ4に格納する。画像処理部5に設けられた繰り返しパターン検出部51はフレームメモリ4に格納されている画像データを取り込み、繰り返しピッチを算出し、これを元にブロック分割部52により所定の画素数の領域に分割を行う。次に、平均化処理部53によりこのブロックの平均画像データを計算し、入力の画像データと該平均画像データの差画像を画像演算部54で演算し、非繰り返し部分を強調して表示部6に表示する。
Claim (excerpt):
画像データを取り込む工程と、取り込まれた上記画像データから繰返しパターンのピッチを計算する工程と、上記パターンのピッチに基づいて取り込まれた入力画像データを複数のブロックに分割する工程と、上記複数のブロックの平均画像データを計算する工程と、上記入力画像データと上記平均画像データを演算する工程と、上記演算結果の画像データを表示する工程を有することを特徴とする画像処理方法。
IPC (3):
G06T 7/00
, G01N 21/88
, H01L 21/66
FI (4):
G06F 15/70 460 C
, G01N 21/88 E
, H01L 21/66 J
, G06F 15/62 405 A
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