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J-GLOBAL ID：200903011494664280

パターン形成方法

Inventor： 上美谷 雅之 ,  西村 祐行 ,  各務 壽員
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (1)： 米田 潤三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998207191
Publication number (International publication number)：2000030531
Application date： Jul. 07, 1998
Publication date： Jan. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】 プラズマディスプレイパネル等の電極パターンを高い精度で簡便に形成するためのパターン形成方法を提供する。【解決手段】 転写シートとして、導電性粉体とガラスフリットを含む無機成分と焼成除去可能な感光性樹脂組成物を含む有機成分とを少なくとも含有する転写層をベースフィルム上に備えたものを使用し、基板上に転写層を転写し、この転写層に対して50〜500μmの範囲で面内ばらつきが±50μm以内の間隙を設けてフォトマスクを配設し、このフォトマスクを介して平行光による転写層の露光を行い、その後、現像してパターニングした後、焼成して電極パターンを形成する。

Claim (excerpt)：

導電性粉体とガラスフリットを含む無機成分と焼成除去可能な感光性樹脂組成物を含む有機成分とを少なくとも含有する転写層をベースフィルム上に備えた転写シートを用いて、基板上に転写層を圧着して重ね合わせ、その後、ベースフィルムを剥離して転写層を基板上に転写し、該転写層に対して50〜500μmの範囲で面内ばらつきが±50μm以内の間隙を設けてフォトマスクを配設し、該フォトマスクを介して平行光による転写層の露光を行い、その後、現像してパターニングした後、焼成して電極パターンを形成することを特徴としたパターン形成方法。

IPC (4)：

H01B 1/16 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/00 ,  H01J 11/02

FI (4)：

H01B 1/16 A ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/00 K ,  H01J 11/02 B

F-Term (23)：

5C027AA01 ,  5C040FA01 ,  5C040GA03 ,  5C040GB14 ,  5C040GC18 ,  5C040GC19 ,  5C040JA15 ,  5C040JA19 ,  5C040JA21 ,  5C040KA01 ,  5C040KA09 ,  5C040KA16 ,  5C040KB03 ,  5C040KB17 ,  5C040KB24 ,  5C040MA22 ,  5C040MA24 ,  5G301DA03 ,  5G301DA36 ,  5G301DA37 ,  5G301DA38 ,  5G301DA42 ,  5G301DD01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 厚膜パターン形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-045099   Applicant：大日本印刷株式会社
• 感光性ペースト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-116375   Applicant：東レ株式会社
• 特開平4-110855