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J-GLOBAL ID：200903011500253948
レジスト塗布装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 敏明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992047039
Publication number (International publication number)：1993251389
Application date： Mar. 04, 1992
Publication date： Sep. 28, 1993
Summary：
【要約】【目的】 レジストの滞留によるゲル化や外部から大気やゴミの侵入を防止すると共に、滴下ノズルからのぼた落ちを確実に防いだレジスト塗布装置を提供する。【構成】 レジスト塗布装置において、レジスト貯蔵タンク1からフィルタ7、サックバック機構13、滴下ノズル10までのレジスト供給経路をフィルタ7、サックバック機構13、滴下ノズル10の順で配管し、前記フィルタ7を内蔵するカバー8、前記サックバック機構13のベローズ9および前記滴下ノズル10をテフロンで一体成形したものである。
Claim (excerpt)：
レジスト貯蔵タンクからフィルタ、サックバック機構、滴下ノズルまでのレジスト供給経路をフィルタ、サックバック機構、滴下ノズルの順で配管し、前記フィルタを内蔵するカバー、前記サックバック機構のベローズおよび前記滴下ノズルをテフロンで一体成形したことを特徴とするレジスト塗布装置。
IPC (2)：
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