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J-GLOBAL ID：200903011514162082

走査型透過電子顕微鏡

Inventor： 竹口 雅樹 ,  下条 雅幸
Applicant, Patent owner： 独立行政法人物質・材料研究機構
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007113612
Publication number (International publication number)：2008270056
Application date： Apr. 24, 2007
Publication date： Nov. 06, 2008
Summary：

【課題】共焦点走査型透過電子顕微鏡の高分解能像取得を可能とするのみならず、断層像取得、さらには暗視野像を共焦点STEM結像を得ることを課題とした。【解決手段】透過型電子顕微鏡は、試料を保持する試料ステージを、ナノ駆動構造により電子ビームの光軸方向であるZ軸方向とそれに直交するX軸とY軸方向(X軸とY軸は互いに直交する)とに移動調整可能とする。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

電子銃から出た照射電子を収束レンズによって試料上にフォーカスし、試料を透過した電子を結像レンズによって試料下にある検出器上面の絞り位置に再びフォーカスし、試料上の収束電子プローブの中央の一部のみを絞りによって透過させて検出器によって検出する共焦点光学系を有する透過型電子顕微鏡であって、前記試料を保持する試料ステージを、ナノ駆動構造により電子ビームの光軸方向であるZ軸方向とそれに直交するX軸とY軸方向(X軸とY軸は互いに直交する)とに移動調整可能にしてあることを特徴とする透過型電子顕微鏡。

IPC (2)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/21

FI (2)：

H01J37/28 C ,  H01J37/21 A

F-Term (4)：

5C033LL01 ,  5C033SS02 ,  5C033SS06 ,  5C033SS07

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 米国特許6,548,810号