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J-GLOBAL ID：200903011536625779

ウエハ処理方法およびその装置

Inventor： 荒木 浩之
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (1)： 吉田 茂明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991357260
Publication number (International publication number)：1993175179
Application date： Dec. 24, 1991
Publication date： Jul. 13, 1993
Summary：

【要約】【目的】 処理槽の内容積をできるだけ小さくし、製造コストおよび処理時間を低減するウエハ処理方法を提供する。【構成】 2つのキャリア3からそれぞれn枚のウエハ2を取り出して、第1のウエハ群21と第2のウエハ群22を形成し、第2のウエハ群22のウエハを第1のウエハ群21の各ウエハ2の隙間に挿入することによりピッチを変換して2n枚のウエハからなる第3のウエハ群23を形成し、これらを一括してウエハ処理する。

Claim (excerpt)：

(a)n枚のウエハを等ピッチでそれぞれ整立収納する2つのキャリアから当該ウエハを抜き出し、第1のウエハ群と第2のウエハ群とを形成する工程と、(b)第1のウエハ群のウエハ間の各隙間に第2のウエハ群の各ウエハを相互に接触しない状態で挿入し、2n枚のウエハからなる第3のウエハ群を形成する工程と、(c)第3のウエハ群を一括して処理槽内の処理液に浸漬させ表面処理する工程と、を備えるウエハ処理方法。

IPC (4)：

H01L 21/304 341 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68