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J-GLOBAL ID：200903011546598001

塗布ノズルの洗浄装置

Inventor： 岡本 隆一
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 高田 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992117350
Publication number (International publication number)：1993309309
Application date： May. 11, 1992
Publication date： Nov. 22, 1993
Summary：

【要約】【目的】 塗布ノズルの先端部分(特に外周面部)に付着残留した接着剤等の粘性流体が再吐出時の吐出不良の原因となっている。そこで、付着している粘性流体をノズル外周面部も含めて全体的に確実に除去するようにする。【構成】 塗布ノズル1に対して洗浄液を吹き付ける洗浄液ノズル23a,23bをその軸線延長線が塗布ノズル1に向かうように設けるとともに、塗布ノズル1に対して乾燥用のエアーを吹き付けるエアーノズル24をその軸線延長線が塗布ノズル1に向かうように設ける。洗浄液のバルブ32とエアーのバルブ30との開閉弁動作を切り換えるように構成する。【効果】 洗浄液の吹き付けにより外周面部を含めて塗布ノズルに付着している粘性流体を確実に除去することができるとともに、エアーの吹き付けにより洗浄液で濡れた塗布ノズルを短時間で乾燥させることができる。

Claim (excerpt)：

粘性流体を吐出する塗布ノズルに対して洗浄液を吹き付ける洗浄液ノズルと、前記塗布ノズルに対して乾燥用のエアーを吹き付けるエアーノズルと、前記洗浄液ノズルからの洗浄液吹き付け状態と前記エアーノズルからのエアー吹き付け状態とを切り換える手段とを備えたことを特徴とする塗布ノズルの洗浄装置。

IPC (3)：

B05C 5/00 101 ,  B08B 9/02 ,  H01L 21/304 361