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J-GLOBAL ID：200903011547404340
エアフィルターの使用方法および製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
森 哲也 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996120058
Publication number (International publication number)：1997029020
Application date： May. 15, 1996
Publication date： Feb. 04, 1997
Summary：
【要約】【課題】クリーンルーム内の空気中に有機物が存在しないようにする。【解決手段】クリーンルームの空気導入経路に配設されるエアフィルター6に対して、以下のような有機物除去処理を行う。すなわち、エアフィルター6をステンレス製のオートクレーブ1内に入れて蓋をし、オートクレーブ1の内部の温度を100°Cに保持しながら、ボンベ2から高純度空気を導入してオートクレーブ1内を通過させる。このような処理がなされたエアフィルター6を、クリーンルームの空気導入経路に配設する。
Claim (excerpt)：
空気中の浮遊粒状物質を捕集する乾式エアフィルターに対して有機物を除去する処理を施した後に、当該エアフィルターをクリーンルームの空気導入経路に配設することを特徴とするエアフィルターの使用方法。
IPC (2)：
FI (2)：
B01D 39/00 B
, B01D 46/00 Z
