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J-GLOBAL ID：200903011571279956

ダイヤモンドコート部材

Inventor： 大橋 玄章 ,  村井 真 ,  小林 廣道
Applicant, Patent owner： 日本碍子株式会社
Agent (1)： 渡邉 一平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002006415
Publication number (International publication number)：2002338388
Application date： Jan. 15, 2002
Publication date： Nov. 27, 2002
Summary：

【要約】【課題】 シリコンウエハに代表される基板がプラズマや腐食性ガス等に曝される反応チャンバ内の部材、例えば、リング類、チャンバ内張、ガスシャワープレート、ノズル類、サセプタ、静電チャック、ヒータ等として好適に用いられ得る優れた耐腐食性を発揮するダイヤモンドコート耐腐食性部材を提供すること。【解決手段】 窒化アルミニウム等の基材と、基材の表面の少なくとも一部を覆い密着したダイヤモンドの薄膜と、を備えた耐腐食性を有するダイヤモンドコート部材であって、薄膜と基材との密着強度が15MPa以上であるか、あるいは、ダイヤモンドの薄膜において、基材と平行な面内に存在するダイヤモンド結晶構造{220}面の配向度が、次式[Im220/(Im220+Im111)]/[Ip220/(Ip220+Ip111)]<1で示されるダイヤモンドコート耐腐食性部材の提供による。

Claim (excerpt)：

基材と、前記基材の表面の少なくとも一部を覆い密着した薄膜とを備えた耐腐食性部材であって、前記薄膜は、主結晶相がダイヤモンドであるダイヤモンド膜であり、前記ダイヤモンド膜において、前記基材と平行な面内に存在するダイヤモンド結晶構造{220}面の配向度が、次式[Im220/(Im220+Im111)]/[Ip220/(Ip220+Ip111)]<1で示されることを特徴とするダイヤモンドコート耐腐食性部材。

IPC (3)：

C30B 29/04 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68

FI (4)：

C30B 29/04 X ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68 N ,  H01L 21/68 R

F-Term (24)：

4G077AA03 ,  4G077BA03 ,  4G077DB19 ,  4G077DB21 ,  4G077DB23 ,  4G077EA01 ,  4G077HA20 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA05 ,  5F031HA10 ,  5F031HA17 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031NA05 ,  5F031PA26 ,  5F031PA30 ,  5F045BB00 ,  5F045BB14 ,  5F045EB03 ,  5F045EC05 ,  5F045EF11 ,  5F045EJ03 ,  5F045EM05