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J-GLOBAL ID：200903011571493885

ピエゾ抵抗体を用いたセンサ及び加速度センサ

Inventor： 八木 健
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 四宮 通
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998332090
Publication number (International publication number)：2000147000
Application date： Nov. 06, 1998
Publication date： May. 26, 2000
Summary：

【要約】【課題】 温度特性の悪化や歩留りの低下や素子サイズの大型化を招くことなく、電源投入後に検出信号を短時間で安定させ、消費電力の低減を図る。【解決手段】 錘部102の周辺が、可撓部103を介して固定部101に支持される。可撓部103には、不純物の拡散によりピエゾ抵抗体111〜114,121〜124,131〜134が形成される。W-W線上の4つのピエゾ抵抗体131,132は、2回の折り返しを持つ形状を有する。

Claim (excerpt)：

可撓部に形成された1個以上のピエゾ抵抗部を備え、前記各ピエゾ抵抗部が少なくとも1つのピエゾ抵抗体を有し、前記1個以上のピエゾ抵抗部の抵抗値の変化に基づいて所定の検出を行うセンサにおいて、前記1個以上のピエゾ抵抗部のうちの少なくとも1個のピエゾ抵抗部が、1回以上の折り返しを持つ形状を有することを特徴とするセンサ。

IPC (4)：

G01P 15/12 ,  G01L 9/04 101 ,  G01P 15/00 ,  H01L 29/84

FI (4)：

G01P 15/12 ,  G01L 9/04 101 ,  G01P 15/00 K ,  H01L 29/84 B

F-Term (18)：

2F055AA39 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE14 ,  2F055FF49 ,  2F055GG01 ,  2F055GG12 ,  4M112AA02 ,  4M112BA01 ,  4M112CA29 ,  4M112CA36 ,  4M112DA04 ,  4M112DA12 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA13 ,  4M112FA05