Pat

J-GLOBAL ID：200903011580931585

カセットセルを有するレーザープロセッシングチェンバー

Inventor： ゲヌット メナヘム ,  リヴスヒッツ(ブヤナー)ボリス ,  テハル-ザハヴ オッファー
Applicant, Patent owner： オラミル セミコンダクター エクイプメント リミテッド
Agent (1)： 斎藤 侑 (外2名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997518033
Publication number (International publication number)：2000500285
Application date： Nov. 04, 1996
Publication date： Jan. 11, 2000
Summary：

【要約】物体表面をレーザー処理するためのプロセスチェンバーが記載される。このプロセスチェンバーは物体支持手段を備えた底部と、レーザー光を実質上透過する窓を備えたカバーと、ガス導入およびガス導出手段とを含んでなり、前記カバーと前記底部は、結合したとき、要素表面と窓内面との間に空間を残し、そこでは前記ガス導入口から流入するガスが処理すべき物体表面上を流れ、前記ガス導出口を経てプロセスチェンバーを出る。

Claim (excerpt)：

物体の表面をレーザー処理するためのプロセスチェンバーであって、-物体支持手段を備えた底部と;-レーザー光を実質上透過する窓を備えたカバーと;-ガス導入-およびガス排出口とを含んでなり、前記カバーおよび前記底部は、結合したとき、前記要素の表面と窓の内面との間にスペースを残し、前記ガス導入口からそこに流入するガスは処理すべき物体の表面上を流れ、前記ガス排出口を通ってプロセスチェンバーから排出されるプロセスチェンバー。

IPC (4)：

H01L 21/3065 ,  B23K 26/12 ,  G03F 7/42 ,  H01L 21/027

FI (4)：

H01L 21/302 H ,  B23K 26/12 ,  G03F 7/42 ,  H01L 21/30 572 A