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J-GLOBAL ID：200903011622466195

放電反応装置

Inventor： 縄田 芳一 ,  笹川 英四郎 ,  上野 茂一 ,  浜本 員年
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995111751
Publication number (International publication number)：1996299785
Application date： May. 10, 1995
Publication date： Nov. 19, 1996
Summary：

【要約】【目的】本発明は、均一放電を可能にし、均一な被処理物をえ、電極及び電極供給線にかかる負荷を押えられることを目的とする。【構成】被処理物及び電極(14)を内蔵する真空容器(31)と、この真空容器(31)内に所定のガスを導入する反応ガス導入部(32)と、前記真空容器(31)内の圧力を制御する真空ポンプ(37)とを具備し、前記電極(14)に電力を供給して放電を発生させることにより真空容器(31)内に置かれた被処理物を処理する放電反応装置において、前記電極(14)を複数に分割するとともに、分割した電極(14)にそれぞれ電力給電部を設け、更に接地部を分割した各電極に1箇所又は複数箇所もしくは各電極間で共有するように設けることを特徴とする放電反応装置。

Claim (excerpt)：

被処理物及び電極を内蔵する真空容器と、この真空容器内に所定のガスを導入する導入手段と、前記真空容器内の圧力を制御する制御手段とを具備し、前記電極に電力を供給して放電を発生させることにより真空容器内に置かれた被処理物を処理する放電反応装置において、前記電極を複数に分割するとともに、分割した電極にそれぞれ電力給電部を設け、更に接地部を分割した各電極に1箇所又は複数箇所もしくは各電極間で共有するように設けることを特徴とする放電反応装置。

IPC (5)：

B01J 19/08 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H05H 1/46 ,  H01L 21/3065

FI (6)：

B01J 19/08 C ,  B01J 19/08 G ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 A ,  H05H 1/46 M ,  H01L 21/302 C