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J-GLOBAL ID：200903011631920656

マルチチャンバー装置

Inventor： 菅野 幸保
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 高月 亨
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991360522
Publication number (International publication number)：1995145482
Application date： Dec. 30, 1991
Publication date： Jun. 06, 1995
Summary：

【要約】【目的】 基板を処理する処理チャンバーを複数有するマルチチャンバー装置であって、被処理基板の表裏を反転することなく、独立に連続して、もしくは同時に、表面と裏面に処理を行うことが可能なマルチチャンバー装置を提供すること。【構成】 被処理体である基板11,12を搬送する搬送系2等を備えるとともに、基板の表裏両面に処理を行うマルチチャンバー装置であって、チャンバー3,4を有する該マルチチャンバーの1室または2室において、同時または連続して、基板の表裏面に処理を行い、マルチチャンバーの各室3,4は、各処理時には密封されている構成のマルチチャンバー装置。

Claim (excerpt)：

基板を搬送するとともに、基板の表裏両面に処理を行うマルチチャンバー装置であって、該マルチチャンバーの1室または2室において、同時または連続して、基板の表裏面に処理を行い、マルチチャンバーの各室は、各処理時には密封されていることを特徴とするマルチチャンバー装置。

IPC (4)：

C23C 14/56 ,  C23C 16/54 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205