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J-GLOBAL ID：200903011670734541

投影レンズ系

Inventor： 久芳圭一
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 韮澤 弘 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993116792
Publication number (International publication number)：1994331942
Application date： May. 19, 1993
Publication date： Dec. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】 投影レンズ系の実効的な焦点深度の拡大を図る。【構成】 回折光学素子を少なくとも1枚含む投影レンズ系において、回折光学素子の中の1枚7は複数のゾーンからなり、複数のゾーンを透過する光束が光軸方向のわずかに異なる少なくとも2点3、4の位置に結像するように、複数のゾーンが相互に異なる結像作用を有する。このように構成すると、1回の露光で複数の結像面が形成され、その結果、光学像のコントラストを光軸方向に長く維持することができ、実効的焦点深度の拡大を図ることができる。高解像の光学系を使用すれば、解像度の向上と焦点深度の拡大を同時に実現することができる。

Claim (excerpt)：

回折光学素子を少なくとも1枚含む投影レンズ系において、該回折光学素子の中の1枚は複数のゾーンからなり、該複数のゾーンを透過する光束が光軸方向のわずかに異なる少なくとも2点の位置に結像するように、前記複数のゾーンが相互に異なる結像作用を有することを特徴とする投影レンズ系。

IPC (2)：

G02B 27/42 ,  G02B 13/18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭63-177124
  
• 特開昭63-244002
  
• 多焦点眼用レンズ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-189167   Applicant：株式会社メニコン
• 特開平2-099914