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J-GLOBAL ID：200903011676745588

微細凹凸構造の形成方法及び当該凹凸を有する部材

Inventor： 三瓶 哲彦 ,  梅林 信弘 ,  杉山 寿紀 ,  酒本 章人
Applicant, Patent owner： 日立マクセル株式会社
Agent (1)： 藤元 亮輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001257471
Publication number (International publication number)：2003066203
Application date： Aug. 28, 2001
Publication date： Mar. 05, 2003
Summary：

【要約】【課題】 反射防止、撥水、放熱、接着などの用途のために微細な凹凸を安価に形成し、特に、反射防止効果は波長依存性のない凹凸を形成する方法、当該凹凸を有する部材を提供する。【解決手段】 基体上に微細な凹凸をランダムに形成する方法は、前記基体の表面に有機化合物の膜を形成するステップと、前記有機化合物の膜をエッチングするステップと有する。

Claim (excerpt)：

基体上に微細な凹凸をランダムに形成する方法であって、前記基体の表面に有機化合物の膜を形成するステップと、前記有機化合物の膜をエッチングするステップと有する方法。

IPC (4)：

G02B 1/11 ,  G02B 1/10 ,  C23C 14/58 ,  C23C 16/56

FI (4)：

C23C 14/58 C ,  C23C 16/56 ,  G02B 1/10 A ,  G02B 1/10 Z

F-Term (30)：

2K009AA02 ,  2K009BB01 ,  2K009BB11 ,  2K009CC21 ,  2K009DD12 ,  2K009DD17 ,  2K009EE00 ,  2K009FF03 ,  4K029AA09 ,  4K029AA11 ,  4K029BA12 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA12 ,  4K029EA01 ,  4K029EA02 ,  4K029FA05 ,  4K029GA02 ,  4K030BA14 ,  4K030BA61 ,  4K030CA06 ,  4K030CA07 ,  4K030DA02 ,  4K030DA08 ,  4K030FA01 ,  4K030JA01 ,  4K030JA13 ,  4K030LA11