ポジ型感光性組成物

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小栗昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002057480
Publication number (International publication number)：2003255542
Application date： Mar. 04, 2002
Publication date： Sep. 10, 2003
Summary：

【要約】【課題】ハーフトーン位相差シフトマスク適性(サイドローブ光耐性)に優れ、現像欠陥の点で改善されたポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する置換基を有するスルフォニウム塩、及び、(B)特定のアルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、及び(C)下記溶剤A群から選択される少なくとも1種と下記溶剤B群から選択される少なくとも1種を含有する混合溶剤又は溶剤A群から選択される少なくとも1種と下記溶剤C群から選択される少なくとも1種とを含有する混合溶剤を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。A群:プロピレングリコールモノアルキルエーテルアルコキシレートB群:プロピレングリコールモノアルキルエーテル、乳酸アルキル及びアルコキシプロピオン酸アルキルC群:γ-ブチロラクトン、エチレンカーボネート及びプロピレンカーボネート

Claim (excerpt)：

(A)一般式(SI)で表される活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び、(B)一般式(I)で表される繰り返し単位及び一般式(II)で表される繰り返し単位を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、及び(C)下記溶剤A群から選択される少なくとも1種と下記溶剤B群から選択される少なくとも1種を含有する混合溶剤、又は溶剤A群から選択される少なくとも1種と下記溶剤C群から選択される少なくとも1種とを含有する混合溶剤を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。A群:プロピレングリコールモノアルキルエーテルアルコキシレートB群:プロピレングリコールモノアルキルエーテル、乳酸アルキル及びアルコキシプロピオン酸アルキルC群:γ-ブチロラクトン、エチレンカーボネート及びプロピレンカーボネート【化1】【化2】一般式(SI)中、Rs4〜Rs6は、各々独立に、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アシル基、アシロキシ基、ニトロ基、ハロゲン原子、水酸基、又はカルボキシル基を表す。l:1〜5m:0〜5n:0〜5を表す。l+m+n=1の時、Rs4はアルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アシル基、又はアシロキシ基を表す。Xs-:R-SO3-、R:脂肪族炭化水素基又は芳香族炭化水素基を表す。一般式(I)において、R1aは水素原子又は置換基を有していてもよい炭化水素基を表し、R2aは置換基を有していてもよい炭化水素基を表す。尚、R1aとR2aとが互いに結合して環を形成してもよい。一般式(II)において、Zは、-O-又は-N(R3a)-を表す。ここでR3aは、水素原子、水酸基、アルキル基、ハロアルキル基又は-OSO2-R4aを表す。またR4aは、アルキル基、ハロアルキル基、シクロアルキル基又は樟脳残基を表す。

IPC (7)：

G03F 7/039 601 , C08F216/14 , C08F222/06 , C08F222/40 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (7)：

G03F 7/039 601 , C08F216/14 , C08F222/06 , C08F222/40 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 A , H01L 21/30 502 R

F-Term (56)：

2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB08 , 2H025CB10 , 2H025CB41 , 2H025CC03 , 4J100AE02P , 4J100AE04P , 4J100AE06P , 4J100AE09P , 4J100AE10P , 4J100AK32Q , 4J100AL08R , 4J100AL08S , 4J100AM43Q , 4J100AM45Q , 4J100AM47Q , 4J100AR11R , 4J100AR32P , 4J100AR32R , 4J100BA03P , 4J100BA03Q , 4J100BA03S , 4J100BA05P , 4J100BA06P , 4J100BA10P , 4J100BA11Q , 4J100BA11S , 4J100BA15P , 4J100BA15R , 4J100BA20R , 4J100BA40S , 4J100BA55Q , 4J100BB01P , 4J100BB18Q , 4J100BC04P , 4J100BC08P , 4J100BC08Q , 4J100BC09P , 4J100BC09R , 4J100BC09S , 4J100BC12P , 4J100BC12R , 4J100BC53P , 4J100BC53S , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100JA38

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