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J-GLOBAL ID：200903011731253428

光熱変位計測による試料評価方法

Inventor： 高松 弘行 ,  住江 伸吾 ,  吉田 尚幸 ,  森本 勉
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 本庄 武男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995003721
Publication number (International publication number)：1995311182
Application date： Jan. 13, 1995
Publication date： Nov. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】 複雑な信号処理を行うことなく高精度かつ安定に光熱変位の計測を行うことのできる光熱変位計測による試料評価方法。【構成】 本方法による装置A1は,レーザ1などにより,励起光であるビーム1′,1′′と測定光であるビーム3,4とをそれぞれ発生させ,ビーム1′,1′′を音響光学変調器4により互いに逆位相で強度変調し,それぞれを試料8の異なる位置に照射し,ビーム3,4を音響光学変調器10,11により互いに異なる振動周波数に設定し,上記ビーム1′,1′′のそれぞれの照射位置に上記ビーム3,4のそれぞれを照射し,上記ビーム3,4の試料8からの反射光を干渉させ,この干渉光の位相に基づいて試料8を評価するように構成されている。上記構成により複雑な信号処理を行うことなく高精度かつ安定に光熱変位を計測することができる。

Claim (excerpt)：

試料に励起光を照射し,該励起光による試料の光熱変位を測定光を用いて計測することにより試料を評価する方法において,2つの励起光と2つの測定光とをそれぞれ発生させ,上記2つの励起光を互いに異なる位相で強度変調し,それぞれを上記試料の異なる位置に照射し,上記2つの測定光を互いに異なる振動周波数に設定し,上記2つの励起光のそれぞれの照射位置に上記2つの測定光のそれぞれを照射し,上記2つの測定光の試料からの反射光を干渉させ,該干渉光の位相に基づいて上記試料を評価することを特徴とする光熱変位計測による試料評価方法。

IPC (3)：

G01N 29/00 501 ,  G01N 21/00 ,  G01N 21/45