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J-GLOBAL ID：200903011754320238
デジタルエッチング方法及び装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
八木田 茂 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994056049
Publication number (International publication number)：1995263424
Application date： Mar. 25, 1994
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 エッチャントの吸着量を1原子層に制御し、イオン照射量の正確制御を必要とせずに、確実に1原子層毎のエッチングを実施できるようにしたデジタルエッチング方法及び装置を提供する。【構成】 本発明の方法は反応性ガスをパルス状の放電により分解し、分解生成物の凝縮温度以下に冷却された基板上に導入して凝縮層を形成し、その後赤外線ランプ加熱により分解生成物の凝縮温度以上に基板を昇温し、反応を促進させることにより1原子反応層を形成するとともに余分な凝縮分子を蒸発させ、さらにこの1原子反応層を低いエネルギーを持った中性或いは荷電粒子を照射することによって1原子層毎のエッチングを行なうことから成り、また本発明の装置は、真空容器1内に、ガスをパルス状の放電により分解する放電部6と、この放電部に対向して位置決めされた分解生成物の凝縮温度以下に冷却可能な基板保持部3と、赤外線ランプ10による基板加熱機構とを有し、放電部が基板4上の吸着層をエッチングする粒子照射機構を備えている。
Claim (excerpt)：
真空容器内に、基板保持部と放電部とを対向させて設け、ガスを放電により分解してエッチングを行なうようにしたデジタルエッチング方法において、反応性ガスをパルス状の放電により分解し、分解生成物の凝縮温度以下に冷却された基板上に導入して凝縮層を形成し、その後赤外線ランプ加熱により分解生成物の凝縮温度以上に基板を昇温し、反応を促進させることにより1原子反応層を形成するとともに余分な凝縮分子を蒸発させ、さらにこの1原子反応層を低いエネルギーを持った中性或いは荷電粒子を照射することによって1原子層毎のエッチングを行なうことを特徴とするデジタルエッチング方法。
IPC (2)：
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