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J-GLOBAL ID：200903011764677339

探針を有するカンチレバーの形成方法

Inventor： 八木 隆行 ,  伏見 正弘 ,  島田 康弘
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994130151
Publication number (International publication number)：1995333232
Application date： Jun. 13, 1994
Publication date： Dec. 22, 1995
Summary：

【要約】【目的】(1)機械的共振周波数を高く保つ、(2)Si基板上に形成したトランジスタ等の電気回路と集積化が可能な、(3)生産歩留りの高い、探針を有するカンチレバーの形成方法を提供する。【構成】 Si単結晶から成るウェハ上に酸化膜が形成され該酸化膜上に単結晶から成るSi薄膜が形成されて成るSOI基板を用い、少なくとも(a)Si薄膜表面を酸化してシリコン酸化膜としてカンチレバーパターンを形成する工程および(b)所定の位置に探針パターンを形成する工程を行い、次に酸化されていない部分のSi薄膜を除去して探針を有するカンチレバーを形成する。

Claim (excerpt)：

Si単結晶から成るウェハ上に酸化膜が形成され該酸化膜上に単結晶から成るSi薄膜が形成されて成るSOI基板を用い、少なくとも下記の(a)および(b)の工程を行って、次に酸化されていない部分のSi薄膜を除去する、探針を有するカンチレバーの形成方法。(a)Si薄膜表面を酸化してシリコン酸化膜としてカンチレバーパターンを形成する工程(b)所定の位置に探針パターンを形成する工程

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28