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J-GLOBAL ID：200903011776313979

ステージ装置および露光装置ならびにディバイス製造方法

Inventor： 中村 元
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998030447
Publication number (International publication number)：1999214482
Application date： Jan. 28, 1998
Publication date： Aug. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】 ウエハステージ上のセンサ等を定盤上の電源部等に電気接続するケーブル等を省略する。【解決手段】 XYステージであるウエハステージE1 は、リニアモータ14,15によって定盤10上を移動する。ウエハステージE1 が定盤端部のウエハ受け渡し位置へ移動したときに、ステージ側電磁コア23と定盤側電磁コア33が対向し、両者の間で磁気による電力や電気信号の受け渡しを行なう磁気回路が形成される。

Claim (excerpt)：

固定台の案内手段に沿って移動自在である移動ステージと、該移動ステージ上の回路部品と前記固定台の回路部とを電気接続するための磁気回路を前記移動ステージと前記固定台の間に形成する磁気結合手段を有するステージ装置。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (3)：

H01L 21/68 K ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 515 G