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J-GLOBAL ID：200903011813692799

ドライ真空ポンプ

Inventor： 長岡 隆司 ,  坂上 誠二 ,  西内 章
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 鵜沼 辰之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993191330
Publication number (International publication number)：1995042693
Application date： Aug. 02, 1993
Publication date： Feb. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】 吸引ガス中に含まれる反応生成物の付着堆積を防ぐと共に性能の低下も防止することにある。【構成】 ドライ真空ポンプのステータ5の冷却ジャケット9を多室構造にし、各室に冷却媒体の入口13a、13bと出口14a、14bを設け、各室の冷却媒体の流量を調節できる流量調節弁15a、15bを設ける。【効果】 ステータ内部の温度を均一に高くすることができるので、反応生成物の付着堆積を防ぐことができる。またドライ真空ポンプ各部に対して必要最小限の温度上昇に止めることが出来るので、性能の低下を防ぐことができる。

Claim (excerpt)：

ガスの吸気口と排気口を有するケーシングと、該ケーシング内に軸受により支持されたロータと、前記ケーシングの内周に有り隙間を介して前記ロータと対向するステータと、前記ケーシングの外周側に有り前記ステータを冷却する冷却ジャケットと、該冷却ジャケットに設けた冷却媒体の出入口とを備えたドライ真空ポンプにおいて、前記冷却ジャケットを複数の室からなる多室構造としたことを特徴とするドライ真空ポンプ。