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J-GLOBAL ID：200903011814524601

円筒状被検物の表面凹凸検査装置及び方法

Inventor： 崎田 隆二
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000340552
Publication number (International publication number)：2002148029
Application date： Nov. 08, 2000
Publication date： May. 22, 2002
Summary：

【要約】【課題】 感光体ドラムのような円筒状被検物の凹凸欠陥を感度よく検出できるようにする。【解決手段】 検査光学系7内には、格子パターン3を円筒状被検物4に投影する格子投影光学系2と、この円筒状被検物4の形状により変形した格子パターン3を撮像するラインセンサカメラ5が設けられている。ある位置で、円筒状被検物4をモータ8で回転させながらカメラ5で変形格子パターン3を撮像し、撮像した変形格子パターン3から周波数解析等により円筒状被検物4上のうねりやへこみ欠陥を検出する。この欠陥は高低差が非常に小さく検出が困難であり、これを検出するには撮像系を高倍率にすればよいが、高倍率にすると撮像視野が狭くなり一度に検査できる範囲が狭くなる。そこで、被検査面を領域分割し、1つの領域の撮像終了後、自動ステージ6により検査光学系7全体を移動させ、次の領域の撮像を行う。これを繰り返して円筒状被検物4の全面を撮像する。

Claim (excerpt)：

格子パターンを投影するための光学系及び円筒状被検物による変形像を撮像するためのラインセンサカメラとからなる検査光学系と、前記検査光学系全体を円筒状被検物の軸方向に移動可能な駆動系と、前記円筒状被検物を回転させる機構とを設け、前記円筒状被検物の軸方向に検査領域を分割しながら全面を検査することを特徴とする円筒状被検物の表面凹凸検査装置。

IPC (3)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/952 ,  G03G 21/00

FI (3)：

G01B 11/30 A ,  G01N 21/952 ,  G03G 21/00

F-Term (40)：

2F065AA49 ,  2F065BB06 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF00 ,  2F065FF01 ,  2F065FF06 ,  2F065FF07 ,  2F065HH07 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL30 ,  2F065MM04 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ44 ,  2F065SS04 ,  2F065UU04 ,  2F065UU05 ,  2F065UU08 ,  2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051AB20 ,  2G051BB20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB06 ,  2G051DA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EB01 ,  2G051EC04 ,  2G051EC05 ,  2H134QA02