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J-GLOBAL ID：200903011815225896

走査型電気化学顕微鏡の探針及びその製造方法

Inventor： 中川 徹
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 池内 寛幸 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992254655
Publication number (International publication number)：1993296967
Application date： Sep. 24, 1992
Publication date： Nov. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 探針は単分子吸着膜またはその積層膜またはそのポリマー膜である有機薄膜によって絶縁され、その先端は電界蒸発によって有機薄膜が除去されて金属線が露出し、この部分で電流を検出するように構成することにより、表面が平滑でない試料であっても測定が可能な走査型電気化学顕微鏡の探針とする。【構成】 先端の尖った金属線1の表面に活性水素を存在させておき、次にオクタデシルトリクロロシラン等のシラン系界面活性剤を金属線表面に接触させて脱塩化水素反応により金属線1の表面とシロキサン結合(-SiO-)による共有結合によって化学吸着された単分子膜2またはその積層膜またはそのポリマー膜を形成し、次に前記金属線の先端部3のみを電界蒸発させることにより、先端が先鋭な走査型電気化学顕微鏡の探針を得る。

Claim (excerpt)：

先端の尖った金属線の先端部以外の部分が有機薄膜で覆われた走査型電気化学顕微鏡の探針であって、前記有機薄膜は金属の表面とシロキサン結合(-SiO-)を介してアルキル基もしくはフッ化アルキル基を含有する化学吸着膜であることを特徴とする走査型電気化学顕微鏡の探針。

IPC (3)：

G01N 27/30 ,  C23C 26/00 ,  G01N 27/416