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J-GLOBAL ID：200903011819971860

ネガ型感光性組成物

Inventor： 落合 為一 ,  高橋 徳明 ,  高橋 七郎
Applicant, Patent owner： 三菱化成株式会社
Agent (1)： 長谷川 一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991294623
Publication number (International publication number)：1993181277
Application date： Nov. 11, 1991
Publication date： Jul. 23, 1993
Summary：

【要約】【構成】 アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤及びメトキシメチルメラミン系架橋剤を含有するネガ型感光性組成物において、メトキシメチルメラミン系架橋剤中、ヘキサメトキシメチルメラミン以外のメラミン系モノマー含量が20重量%以下であるネガ型感光性組成物。【効果】 本願のネガ型感光性組成物は、高解像度で、かつ保存後の感度劣化及び未露光部の現像性の劣化が小さく、特に半導体製造用フォトレジストとして極めて有用である。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤及びメトキシメチルメラミン系架橋剤を含有するネガ型感光性組成物において、下記式(I)で示される化合物の含有量が該メトキシメチルメラミン系架橋剤中20重量%以下である事を特徴とするネガ型感光性組成物。【化1】〔式中、A1 〜A6 はそれぞれ独立に水素原子、-CH2 OH又は-CH2 OCH3 を示すが、そのうち1つ以上は水素原子又は-CH2 OHを示す。〕

IPC (3)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭59-113435
  
• 特開平3-107162
  
• 特開平3-075652