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J-GLOBAL ID：200903011846142581

ミストあるいは蒸気凝縮回収装置

Inventor： 宮本 兼一 ,  井上 勇 ,  箱田 修三 ,  黒田 啓
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992346157
Publication number (International publication number)：1994190227
Application date： Dec. 25, 1992
Publication date： Jul. 12, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明は例えば局所排気における排気ミストあるいは蒸気の回収装置に関するものであり、簡便で動力費を必要としないミストあるいは蒸気凝縮回収装置を提供する。【構成】 一端をミストあるいは蒸気発生源(エッチング装置11)に接続され、他端を排気手段(ファン6)に接続された排気配管の水平部もしくは下方に向かう配管(4)に絞り弁(9)を設け、その絞り弁の下流側に液留め部(5)を設け、その液留め部から配管を上向けに立ち上げ(2)、前記液留め部に液回収手段(バルブ7)を設けてミストあるいは蒸気の凝縮液を回収するものである。【効果】 以上のように本発明は、排気が絞り弁を通過するときの断熱膨張による温度降下により、凝縮して液体となし、その下流側に設けた液溜め部にその液を溜めて回収するものであるから、簡便で安価に設置でき、しかも動力費を必要とせず、排気による持ち出しを低減する装置を提供することができる。

Claim (excerpt)：

一端がミストあるいは蒸気発生源に接続され、他端が排気手段に接続された排気配管の水平部もしくは下方に向かう配管に絞り弁を設け、その絞り弁の下流側に液溜め部を設け、その液溜め部から配管を上向けに立ち上げ、前記液溜め部に液回収手段を設けてなるミストあるいは蒸気凝縮回収装置。

IPC (6)：

B01D 45/06 ,  B01D 5/00 ,  B01D 47/02 ,  B01D 53/26 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/306