圧電/電歪膜型素子

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石田喜樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994241653
Publication number (International publication number)：1995202284
Application date： Oct. 05, 1994
Publication date： Aug. 04, 1995
Summary：

【要約】【目的】キャビティとは反対方向への変位、力等を安定して得ることができるとともに、圧電/電歪作動部の形成位置がずれた場合でも発生する変位及びキャビティ内の増加する体積が殆ど変化しない安定した素子を実現すること。【構成】セラミック基板5に形成されたキャビティ5b上の薄肉部5a外表面上に、非圧電/電歪作動部8を設け、その非圧電/電歪作動部8の周囲の所定範囲に圧電/電歪作動部2,3を形成して成る圧電/電歪膜型素子1。

Claim (excerpt)：

セラミック基板に形成されたキャビティ上の薄肉部外表面上に、非圧電/電歪作動部を設け、その非圧電/電歪作動部の周囲の所定範囲に圧電/電歪作動部を形成して成る圧電/電歪膜型素子。

IPC (5)：

H01L 41/08 , B06B 1/06 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , H01L 29/84

FI (2)：

H01L 41/08 Z , B41J 3/04 103 A

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

特開昭63-142227
特開昭63-179753
特開昭63-292032

Cited by examiner (3)

特開昭63-142227
特開昭63-179753
特開昭63-292032

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