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J-GLOBAL ID：200903011851129682

圧電素子構造体と液体噴射ヘッドならびにそれらの製造方法

Inventor： 海野 章 ,  松田 堅義 ,  福井 哲朗 ,  米原 隆夫 ,  和佐 清孝
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社 ,  和佐 清孝
Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001033823
Publication number (International publication number)：2002234156
Application date： Feb. 09, 2001
Publication date： Aug. 20, 2002
Summary：

【要約】【課題】 圧電素子を構成する圧電膜や振動板等を薄膜化することで半導体プロセスで用いられている微細加工を可能とするとともに耐久性や圧電特性にも優れた圧電素子構造体および長尺でかつ高密度に形成された吐出口を有し、安定した信頼性が高い液体噴射ヘッドならびにそれらの製造方法を提供する。【解決手段】 振動板11と、上下に電極16、17を形成した圧電膜15を有する圧電素子構造体10において、振動板11は、単結晶シリコンまたはボロン等の元素がドープされた単結晶シリコン材料で形成されるとともに、SiO2 ,YSZ,MgO等の酸化物層13とSiO2 ,YSZ,MgO,SRO等から選ばれた少なくとも1つの材料の酸化物層14でサンドイッチ状に挟まれた構造とし、圧電膜15は、PZT,PMN,PSN-PT,PMN- PT等からなる一層構造あるいは異なる組成の積層構造で、単一配向結晶あるいは単結晶とする。

Claim (excerpt)：

振動板と圧電膜を有する圧電素子構造体であって、前記振動板は、単結晶材料または多結晶材料あるいはこれらの材料の少なくとも一方に対して当該材料の成分元素と異なる元素がドープされた材料からなる層と該層をサンドイッチ状に挟む酸化物層とを有し、前記圧電膜は、単一配向結晶または単結晶であることを特徴とする圧電素子構造体。

IPC (8)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  H02N 2/00

FI (7)：

H02N 2/00 B ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 D ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/18 101 Z ,  H01L 41/22 Z

F-Term (21)：

2C057AF69 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG32 ,  2C057AG39 ,  2C057AG44 ,  2C057AG52 ,  2C057AG55 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP22 ,  2C057AP23 ,  2C057AP32 ,  2C057AP33 ,  2C057AP52 ,  2C057AP54 ,  2C057AP56 ,  2C057AP57 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 圧電体薄膜素子、及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-112263   Applicant：セイコーエプソン株式会社
• 液体噴射ヘッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-214600   Applicant：セイコーエプソン株式会社