単結晶銅ターゲットおよびその製造法とそれを用いた半導体内部配線

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：丸岡政彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996181361
Publication number (International publication number)：1998008244
Application date： Jun. 21, 1996
Publication date： Jan. 13, 1998
Summary：

【要約】【目的】 Si基板上に成膜配線して半導体素子を形成することにより銅の利点である耐EM性や耐SM性を十分に生かして高度耐腐食性の微細化配線を持つ半導体素子を製造することができる高純度単結晶銅とその製造方法、更に得られた単結晶銅からなるスパッタリングターゲットおよび同ターゲットを用いて成膜した配線を有する半導体素子を提供すること。【構成】銀と硫黄の合計含有量が0.1ppm 以下である純度99.9999wt%以上の高純度銅を出発原料として用い、これを電気炉1内に配置した原料るつぼ5内に入れて溶解し、るつぼ底部の溶解滴下孔4から下方の単結晶鋳型6に溶解銅を滴下する。この間上部、中部、下部ヒーター10、11、12により温度を調節し、石英外筒3内を真空排気装置2により排気する。炉底部には断熱トラップ8がありその外側に冷却水9が貫流する水冷フランジ配置されている。この装置の単結晶鋳型内に半導体素子の配線形成用ターゲット材として好適な高純度単結晶銅が得られる。

Claim (excerpt)：

純度99.9999wt%以上の単結晶銅からなるスパッタリングターゲット。

IPC (3)：

C23C 14/34 , C22C 9/00 , C30B 29/02

FI (3)：

C23C 14/34 A , C22C 9/00 , C30B 29/02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

特開平2-185990
特開平3-166731
単結晶銅材の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-358106 Applicant：日鉱金属株式会社

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