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J-GLOBAL ID：200903011922698284
多数の微細な孔を有する板材の洗浄装置及び洗浄方法、並びに真空チャックのチャックプレートの洗浄装置及び洗浄方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
恩田 博宣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994309094
Publication number (International publication number)：1996164370
Application date： Dec. 13, 1994
Publication date： Jun. 25, 1996
Summary：
【要約】【目的】 チャックプレート上に付着した異物を、チャックプレートの傷付きを防止しつつ確実にかつ簡単に除去することができる真空チャックのチャックプレートの洗浄方法を提供すること。【構成】 この真空チャック1では、真空吸引機構4を有するチャック本体2の上部に、多数の微細な孔を有するチャックプレート3が固定されている。チャックプレート3の洗浄は次のようにして行われる。まず、チャックプレート3上に洗浄液19を供給する。この状態で、真空吸引機構4を構成するイジェクタ15による吸引を行う。すると、チャックプレート3上に付着した異物20が洗浄液19とともに真空吸引機構4側に吸引される。
Claim (excerpt)：
多数の微細な孔を有する板材(3)を洗浄液(19)を用いて洗浄する装置であって、前記板材(3)を固定するための固定部(2)と、主として液体を吸引するための液体吸引手段(15)と、前記固定部(2)と前記液体吸引手段(15)とを連通させる排出管(13)とを備えた、多数の微細な孔を有する板材の洗浄装置。
IPC (4)：
B08B 3/04
, H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, H05K 13/00
