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J-GLOBAL ID：200903011935544472

粒子検出器

Inventor： デビッド・エドワード・ダイバス ,  カート・リンゼイ・ハーラー ,  エドワード・フランク・パターソン ,  ゲリー・スチュワート・セルウィン
Applicant, Patent owner： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
Agent (1)： 頓宮 孝一 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993008908
Publication number (International publication number)：1994082358
Application date： Jan. 22, 1993
Publication date： Mar. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 半導体の製造に用いられるプラズマ処理ツールの反応室における粒子汚染を検出するポータブルな粒子検出器アセンブリを提供する。【構成】 検出器は走査レーザ・ビームを与えるスキャナ・アセンブリ11と、スキャナ・アセンブリの反対側に置かれ、反応室のボリューム内の粒子によって散乱した光のビデオ信号を発生するビデオ・カメラ12と、ビデオ信号を処理し表示するモニタ16とを含む。

Claim (excerpt)：

レーザ光を生成するレーザ手段と、検出されるべき粒子を含む領域を上記レーザ光で走査するスキャナ手段と、上記領域内の粒子によって散乱したレーザ光のビデオ信号を生成するビデオ・カメラ手段と、上記ビデオ信号のイメージを処理し表示する手段と、を含む粒子検出器。

IPC (3)：

G01N 15/00 ,  G01N 21/47 ,  H01L 21/302

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平2-103451
  
• 特開昭63-063943
  
• 特開平4-081640
  
• 特開昭59-095572
  
• 特開昭62-286445