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J-GLOBAL ID：200903011947125335

導電性フィルムおよびその製造方法

Inventor： 福井 俊巳 ,  藤井 隆満
Applicant, Patent owner： 株式会社関西新技術研究所
Agent (1)： 間宮 武雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998105485
Publication number (International publication number)：1999288625
Application date： Mar. 31, 1998
Publication date： Oct. 19, 1999
Summary：

【要約】【課題】 高価な製造設備を使用しなくても安価に成膜できるゾル-ゲル法を利用して、耐熱性の低い有機フィルムの表面にIn2O3-SnO2系薄膜を被着して形成される導電性フィルムを製造できる方法を提供する。【解決手段】 インジウムアルコキシドおよび錫アルコキシドを含む溶液を加水分解・重合させ、得られたIn2O3-SnO2系ゾルを有機フィルムの表面に塗布してゲル膜を形成した後、ゲル膜に対し紫外光を照射してゲル膜を結晶化させ、In2O3-SnO2系薄膜を有機フィルムの表面に形成する。

Claim (excerpt)：

有機フィルムの表面に、インジウムアルコキシドおよび錫アルコキシドを含む溶液の加水分解・重合物を紫外光の照射により結晶化させて得られるIn2O3-SnO2系薄膜を被着して形成されたことを特徴とする導電性フィルム。

IPC (3)：

H01B 5/14 ,  C23C 18/14 ,  H01B 13/00 503

FI (3)：

H01B 5/14 A ,  C23C 18/14 ,  H01B 13/00 503 B