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J-GLOBAL ID:200903011952446409

ゾルーゲル法による強誘電体膜の形成方法及びキャパシタの製造方法、及びその原料溶液

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 佐々木 聖孝
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993113973
Publication number (International publication number):1994305713
Application date: Apr. 16, 1993
Publication date: Nov. 01, 1994
Summary:
【要約】【構成】 ゾルーゲル原料溶液中でのジエタノール(DEA)の濃度をモル比で(DEA/総金属原子)>3と比較的高濃度として塗布、乾燥、酸化焼結を行うPb(Zr,Ti)O3 薄膜の形成方法と、その原料溶液。【効果】 450°C程度と比較的低温で酸化焼結を行っても、ペロブスカイト結晶構造のPb(Zr,Ti)O3 等の強誘電体薄膜を得ることができる。
Claim (excerpt):
ゾルーゲル法によって強誘電体膜を形成するに際し、(a) 強誘電体膜の構成金属元素の有機金属化合物とアルカノールアミン及び/又はβ-ジケトンからなる安定剤とを含有し、この安定剤を総金属原子に対しモル比で(安定剤/総金属原子)>3の濃度で含有する原料溶液を調製する工程と;(b) この原料溶液を塗布する工程と;(c) この塗布された原料溶液を乾燥し、乾燥膜を形成する工程と;(d) この乾燥膜を焼結し、強誘電体膜化する工程と;を有する、ゾルーゲル法による強誘電体膜の形成方法。
IPC (4):
C01B 13/32 ,  C04B 35/49 ,  H01B 3/00 ,  H01G 4/12 301
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
  • 特開平3-083817
  • 特開平2-006335
  • 特開平4-295013

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