ポジ型フォトレジスト組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：萩野平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999070373
Publication number (International publication number)：2000267281
Application date： Mar. 16, 1999
Publication date： Sep. 29, 2000
Summary：

【要約】【課題】形成されるレジストパターンの密パターンと粗パターンのバランスが改良され、しかも高解像力を有し、孤立パターンの飛びの防止及び耐ドライエッチング性が改良され、定在波が生じない、優れた化学増幅型ポジ型フォトレジスト組成物を提供すること。【解決手段】特定の特定の構造単位を少なくとも有する共重合体Aと、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び溶剤を含有するポジ型フォトレジスト組成物。

Claim (excerpt)：

(a)下記一般式(I)、(II)及び(III) で表される構造単位を有する共重合体Aと、(b)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(c)溶剤を含有することを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。【化1】一般式(I)〜(III) 中、R1 及びR2 は、同一でも異なっていてもよく、水素原子又はメチル基、R3 は置換されてもよい3級アルキル基を表す。一般式(III)中、R'1、R'2は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、又は炭素数1〜4のアルキル基を表し、Wは2価の有機基を表し、R'3は、置換基を有してもよい鎖状アルキル基、置換基を有してもよい環状アルキル基、置換基を有してもよいアリール基、又は置換基を有してもよいアラルキル基を表す。

IPC (8)：

G03F 7/039 601 , C08F 8/00 , C08F212/14 , C08F220/10 , C08K 5/00 , C08L 25/18 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (8)：

G03F 7/039 601 , C08F 8/00 , C08F212/14 , C08F220/10 , C08K 5/00 , C08L 25/18 , G03F 7/004 503 A , H01L 21/30 502 R

F-Term (81)：

2H025AA00 , 2H025AA02 , 2H025AA09 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025CB14 , 2H025CB16 , 2H025CB17 , 2H025CB41 , 2H025CB45 , 2H025CC03 , 4J002BC121 , 4J002BG031 , 4J002EU186 , 4J002EU216 , 4J002EU226 , 4J002EV216 , 4J002EV296 , 4J002EW006 , 4J002EY006 , 4J002EY016 , 4J002EY026 , 4J002FD146 , 4J002GP03 , 4J100AB02S , 4J100AB03S , 4J100AB04S , 4J100AB07P , 4J100AB07R , 4J100AB07S , 4J100AB07T , 4J100AL03Q , 4J100AL08Q , 4J100BA02H , 4J100BA02R , 4J100BA02T , 4J100BA03P , 4J100BA04H , 4J100BA04T , 4J100BA05S , 4J100BA10S , 4J100BA15H , 4J100BA15R , 4J100BB01H , 4J100BB01T , 4J100BB03H , 4J100BB03T , 4J100BB05H , 4J100BB05T , 4J100BB07H , 4J100BB07T , 4J100BC02H , 4J100BC02T , 4J100BC03H , 4J100BC03T , 4J100BC04H , 4J100BC04Q , 4J100BC04R , 4J100BC04T , 4J100BC09H , 4J100BC09R , 4J100BC43H , 4J100BC43R , 4J100BC43T , 4J100CA03 , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100CA31 , 4J100HA19 , 4J100HA61 , 4J100HC13 , 4J100HC45 , 4J100HC71 , 4J100HE07 , 4J100HE14 , 4J100JA38

Return to Previous Page