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J-GLOBAL ID：200903011990699264

円状パターンの検査装置及びその検査方法

Inventor： 坂原 広重 ,  桜井 聡 ,  西埜 二三也
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 岡本 啓三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992013106
Publication number (International publication number)：1993206238
Application date： Jan. 28, 1992
Publication date： Aug. 13, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は円状パターンの検査装置に関し、被検査対象の穴形状不良を目視点検に依存することなく、その取得画像処理に基づいて全穴形状を正確に、かつ、高速に外観検査をすることを目的とする。【構成】 被検査対象16の画像を取得して画像取得データD1を出力する画像取得手段11と、前記画像取得データD1と基準パターンデータD2とに基づいて被検査対象16のパターン認識をする認識手段12と、前記パターン認識結果に基づいて被検査対象16の穴径dを計測する計測手段13と、前記計測結果に基づいて被検査対象16の結果判定をする判定出力手段14とを具備し、前記計測手段13が被検査対象16の穴中心座標O〔x,y〕から円周方向に延伸したセンサ線Lに基づいて半径rを算出することを含み構成する。

Claim (excerpt)：

被検査対象(16)の画像を取得して画像取得データ(D1)を出力する画像取得手段(11)と、前記画像取得データ(D1)と基準パターンデータ(D2)とに基づいて被検査対象(16)のパターン認識をする認識手段(12)と、前記パターン認識結果に基づいて被検査対象(16)の穴径(d)を計測する計測手段(13)と、前記計測結果に基づいて被検査対象(16)の結果判定をする判定出力手段(14)とを具備し、前記計測手段(13)が被検査対象(16)の穴中心座標(O〔x,y〕)から円周方向に延伸したセンサ線(L)に基づいて半径(r)を算出することを特徴とする円状パターンの検査装置。

IPC (3)：

H01L 21/66 ,  G01B 11/24 ,  G06F 15/62 405