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J-GLOBAL ID：200903011994940888
粒子線装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
富村 潔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991163940
Publication number (International publication number)：1993036371
Application date： Jun. 07, 1991
Publication date： Feb. 12, 1993
Summary：
【要約】【目的】 低いビームエネルギーの場合に高い点解像度を有するような粒子線装置特に走査形電子顕微鏡を提供する。【構成】 第1のレンズ装置KLにより生じた中間像ZBの範囲内に、第1のエネルギーU1 から一層高い第2のエネルギーU2 へ粒子PEを加速する装置SR、REを配置する。
Claim (excerpt)：
粒子線発生器(Q)と、粒子線を集束するための第1のレンズ装置(KL)と、第1のレンズ装置(KL)により生じた中間像(ZB)を試料(PR)上に投影するための第2のレンズ装置(OL)とを備えた粒子線装置において、中間像(ZB)の範囲内に第1のエネルギーから一層高い第2のエネルギーへ粒子(PE)を加速する装置(SR、RE)が配置されていることを特徴とする粒子線装置。
IPC (4)：
H01J 37/28
, H01J 37/145
, G21K 1/087
, H05H 7/00
