静電型アクチュエータの製造方法および静電型アクチュエータならびにインクジェット記録ヘッド

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：渡辺望稔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002018006
Publication number (International publication number)：2003211679
Application date： Jan. 28, 2002
Publication date： Jul. 29, 2003
Summary：

【要約】【課題】ラインヘッドのような長尺なインクジェット記録ヘッドを作製する場合であっても、簡易に、かつ、広い面積にわたってインク室基板と電気基板とのギャップの精度を確保できる静電型アクチュエータおよびその製造方法、ならびに、これを利用するインクジェット記録ヘッドを提供する。【解決手段】少なくとも一部が電極となっている振動面を有する第1基板と、電極と離間して対面する対向電極を有し、所定間隙を持って第1基板と対面接合される第2基板と、所定位置において第1基板および第2基板に挟持されることにより、両基板の間を所定間隙に保持する、1μm以下かつ前記所定の間隙と略同一の外径を有する微粒子とを有することにより、前記課題を解決する。

Claim (excerpt)：

少なくとも一部が電極となっている振動面を有する第1基板と、前記電極と離間して対面する対向電極を有し、所定の間隙を持って前記第1基板と対面接合される第2基板とを有する静電型アクチュエータを製造するに際し、1μm以下かつ前記所定の間隙と略同一の外径を有する微粒子を、前記第1基板面および第2基板面の少なくとも一方の所定位置に単層で付着させ、この微粒子を挟持するように前記第1基板と第2基板とを接合することを特徴とする静電型アクチュエータの製造方法。

IPC (3)：

B41J 2/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2)：

B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 A

F-Term (6)：

2C057AF93 , 2C057AG54 , 2C057AP25 , 2C057BA05 , 2C057BA14 , 2C057BA15

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