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J-GLOBAL ID：200903012005121306

容量型センサ

Inventor： 伊藤 信宏 ,  柴野 富雄
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 五十嵐 清
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994054915
Publication number (International publication number)：1995239243
Application date： Feb. 28, 1994
Publication date： Sep. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】 回路構成の簡易な加速度検出の容量型センサを提供する。【構成】 可動電極の両側に固定電極を配置して2個のキャパシタC1 ,C2 を形成し、バイアス電源7,8で各キャパシタC1 ,C2 にバイアス直流電圧U0,-U0 を印加する。交流の駆動電源6から交流電圧をキャパシタC1 に印加し、キャパシタC2 には位相反転回路9を介して位相反転した交流電圧を印加する。バイアス電源7,8の接続部にはΔUのオフセット電圧をオフセット電源12で印加し、常にキャパシタC1 の容量をC2 よりも大にする。可動電極の加速度変位によりキャパシタC1 とC2 の容量を変化させ、その容量差の電圧VOUT をオペアンプ10から加速度検出信号として取り出す。

Claim (excerpt)：

2個の固定電極間に可動電極を配置して形成される2個の可変キャパシタと、この2個の可変キャパシタに交流電圧を印加する駆動電源と、2個の可変キャパシタに極性の異なる直流のバイアス電圧を印加するバイアス電源と、2個の可変キャパシタの容量差を電圧に変換して出力する電圧変換出力回路とを備えた容量型センサにおいて、前記2個のキャパシタの静電容量を不平衡にする静電力を前記可動電極に印加して一方側のキャパシタの容量が他方側のキャパシタの容量よりも常に大に維持するオフセット直流電源を設けたことを特徴とする容量型センサ。

IPC (3)：

G01D 5/24 ,  G01L 1/14 ,  G01R 27/26

FI (2)：

G01D 5/24 W ,  G01D 5/24 B