Pat
J-GLOBAL ID：200903012017961911
角速度センサ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
広瀬 和彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997354143
Publication number (International publication number)：1999173851
Application date： Dec. 08, 1997
Publication date： Jul. 02, 1999
Summary：
【要約】【課題】 振動子の変位量を規制するストッパを設けることにより、基板側と振動子側の電極等が互いに接触するのを防止し、検出動作を安定化させる。【解決手段】 角速度センサ21は、振動子7を可動側駆動電極8、固定側駆動電極12により矢示A方向に振動させた状態で、振動子7をZ軸周りの角速度に応じて矢示F方向に変位させ、この変位量を可動側検出電極9、固定側検出電極13によって検出する。そして、基板2上に設けた各ストッパ22は、接続部23により振動子7と同電位に保持された状態で、矢示F方向に対する振動子7の変位量を規制し、可動側駆動電極8と固定側駆動電極12、可動側検出電極9と固定側検出電極13がそれぞれ接触するのを防止する。
Claim (excerpt)：
基板と、該基板上に設けられた支持部と、該支持部に梁を介して連結され、前記基板に対して水平な2軸方向に変位可能となった振動子と、該振動子を水平方向の2軸のうち一方の軸方向に振動させる振動発生手段と、該振動発生手段によって前記振動子を一方の軸方向に振動させた状態で基板と垂直な軸周りに角速度が加えられたときに、前記振動子が水平方向の2軸のうち他方の軸方向に変位する変位量を検出する変位検出手段とからなる角速度センサにおいて、前記基板上には、前記振動子が他方の軸方向に変位したときに該振動子の変位量を規制するストッパを設ける構成としたことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2)：
FI (2)：
Return to Previous Page
