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J-GLOBAL ID：200903012022733366
チップの観察装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992196643
Publication number (International publication number)：1994043102
Application date： Jul. 23, 1992
Publication date： Feb. 18, 1994
Summary：
【要約】【目的】 明るい背景の中にチップのリードを暗く観察することと、暗い背景の中に明るく観察することを選択できるチップの観察装置。【構成】 分光特性の異なる複数種の光を照射する光源8を設け、また各々の光に対する透過率の異なるフィルター3や光反射板2を設ける。光源8の光を切替えると、リードLやリードLの背後にある光反射板2の明暗が切替わるので、明るい背景の中にリードLを暗く観察することと、暗い背景の中にリードLを明るく観察することを選択できる。
Claim (excerpt)：
ノズルの下端部に真空吸着されたチップの背後に配置された光反射板と、この光反射板の下部にこの光反射板に重ねて配置されて複数種の光に対する透過率の異なるフィルターと、このフィルター及び光反射板へ向かって複数種の光を照射する光源と、この光の種類を切替える切替手段と、前記フィルター及び光反射板に透過・反射された光が入射することにより前記チップの電極を観察するカメラとを備えたことを特徴とするチップの観察装置。
IPC (2)：
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