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J-GLOBAL ID：200903012036080330

液晶用カラーフィルター

Inventor： 佐藤 行一 ,  山本 和光
Applicant, Patent owner： 新エスティーアイ テクノロジー株式会社
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999357792
Publication number (International publication number)：2001174799
Application date： Dec. 16, 1999
Publication date： Jun. 29, 2001
Summary：

【要約】【課題】 スペーサ剥離を抑制可能な液晶用カラーフィルターを提供する。【解決手段】 通常のプロキシミティ露光は、フォトマスク18を樹脂材料2から10μm程度離隔させて露光を行う。これは所望の潜像濃度分布をフォトレジストの厚み方向に沿って均一に形成するためである。本発明では、スペーサ1を硬化したフォトレジストからなることとし、形成時にはフォトレジストの露出表面から上方に50μm〜300μm離隔した位置にフォトマスクを配置し、該フォトマスクを介してフォトレジストを露光する。フォトレジスト内に縦断面形状が台形の潜像濃度分布を形成されるので、剥離が抑制される。

Claim (excerpt)：

液晶をスイッチングする電子素子が複数配列してなる電子素子基板に対向して取り付けられる液晶用カラーフィルターにおいて、(a)前記電子素子基板に対向し前記液晶に所定電位を与える透明電極と、(b)硬化したフォトレジストからなり、硬化前のフォトレジストの露出表面から上方に50μm〜300μm離隔した位置にフォトマスクを配置し、該フォトマスクを介して前記フォトレジストを露光し、この露光後に前記フォトレジストを現像及び硬化することによって形成され、前記液晶用カラーフィルターと前記電子素子基板との間に介在して前記液晶が充填される空間を前記透明電極上に提供する複数のスペーサと、を備えることを特徴とする液晶用カラーフィルター。

IPC (5)：

G02F 1/1335 505 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1339 500 ,  G09F 9/30 320 ,  G09F 9/30 349

FI (5)：

G02F 1/1335 505 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1339 500 ,  G09F 9/30 320 ,  G09F 9/30 349 A

F-Term (39)：

2H048BA25 ,  2H048BA48 ,  2H048BA53 ,  2H048BB02 ,  2H048BB14 ,  2H048BB15 ,  2H048BB24 ,  2H048BB42 ,  2H048BB44 ,  2H089LA10 ,  2H089LA12 ,  2H089QA14 ,  2H089QA16 ,  2H089TA12 ,  2H091FA02Y ,  2H091FA35Y ,  2H091FC10 ,  2H091FC23 ,  2H091GA01 ,  2H091GA08 ,  2H091GA13 ,  2H091KA10 ,  2H091LA18 ,  2H091LA30 ,  2H091MA03 ,  2H091MA07 ,  5C094AA60 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094DA14 ,  5C094DA15 ,  5C094EA05 ,  5C094EB02 ,  5C094EC03 ,  5C094ED03 ,  5C094ED15 ,  5C094FB12 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10