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J-GLOBAL ID：200903012058500066

半導体製造装置の故障診断装置及び半導体製造装置の故障診断方法

Inventor： 渡辺 孝裕
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 三好 秀和 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996173847
Publication number (International publication number)：1998021079
Application date： Jul. 03, 1996
Publication date： Jan. 23, 1998
Summary：

【要約】【課題】 半導体製造装置に異常か発生した場合に、その異常の原因と適切な修復方法をオペレータ等に知らせる半導体製造装置の故障診断装置を提供する。【解決手段】 半導体製造装置で異常が発生した場合のアラームコードを収集し記憶するアラームコード記憶手段と、アラームコードから半導体製造装置の異常の原因並びにその対処方法を推論するための知識がルールの形で記憶されたルールベース記憶手段と、これらに記憶されているアラームコード及びルールに基づいて半導体製造装置の異常の原因並びに対処方法を推論する推論手段と、その異常の原因並びにその対処方法を外部に知らせるためのメッセージを記憶しているメッセージ記億手段と、推論手段の推論結果に対応したメッセージをメッセージ記憶手段より検索して記憶しておく推論結果記憶手段と、推論結果記憶手段に記憶されているメッセージを表示する推論結果表示手段とを備えた。

Claim (excerpt)：

半導体製造装置で異常が発生した場合のアラームコードを収集し記憶するアラームコード記憶手段と、前記アラームコードから半導体製造装置の異常の原因並びにその対処方法を推論するための知識がルールの形で記憶されたルールベース記憶手段と、前記アラームコード記憶手段に記憶されているアラームコード、及び前記ルールベース記憶手段に記憶されているルールに基づいて半導体製造装置の異常の原因並びに対処方法を推論する推論手段と、半導体製造装置の異常の原因並びにその対処方法を外部に知らせるためのメッセージを記憶しているメッセージ記億手段と、前記推論手段の推論結果に対応したメッセージを前記メッセージ記憶手段より検索して記憶しておく推論結果記憶手段と、前記推論結果記憶手段に記憶されているメッセージを表示する推論結果表示手段とを備えたことを特徴とする半導体製造装置の故障診断装置。

IPC (2)：

G06F 9/44 550 ,  G06F 9/44

FI (2)：

G06F 9/44 550 D ,  G06F 9/44 550 Z