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J-GLOBAL ID:200903012075065683

光学素子及びその製造方法、当該光学素子を製造するためのスタンパ並びに当該光学素子を使用した画像表示装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 中野 雅房
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993041857
Publication number (International publication number):1994230203
Application date: Feb. 04, 1993
Publication date: Aug. 19, 1994
Summary:
【要約】【目的】 光の利用効率を高めたマイクロレンズアレイの製造方法を提供する。【構成】 ガラス板等の基板2上に、枠成形用樹脂5をコーティングし、フォトマスクを重ねて露光し、現像することにより、レンズ成形用枠4が所望するレンズ3のレンズ端面9と同じ形状であって、レンズ3を形成する位置の周囲に多数得られるよう、フォトリソグラフィ技術により作製する。次に、レンズを形成させる位置に、同様にフォトリソグラフィ技術によりレンズ母材7を形成し、これをレンズ成形用枠4の縁に接するまで溶融し、レンズ母材7の表面が凸曲面となって、その表面が凸曲面の状態を保ったままで、レンズ母材7を硬化させ、所望の形状をした多数のレンズ3を形成し、マイクロレンズアレイ1を作製する。
Claim (excerpt):
基板上に2次元的に配列された複数個の微小レンズの集合体であって、隣接するレンズ同志が少なくとも1つのレンズ配列方向で外周端面を接するように配置され、各レンズの外周2辺における端面形状が曲率形状をなすことを特徴とする光学素子。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 特開平4-257738

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