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J-GLOBAL ID：200903012077100249

低発塵性の装置

Inventor： 梅田 俊郎 ,  小宮 毅治 ,  高野 三登
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993316276
Publication number (International publication number)：1995172571
Application date： Dec. 16, 1993
Publication date： Jul. 11, 1995
Summary：

【要約】【目的】 微細粒子の発生を抑制するとともに、ワークの表面への微細粒子の付着を抑え、また、周辺への微細粒子の飛散を抑えることができる低発塵性の装置を提供する。【構成】 清浄な環境下でワーク13を処理する低発塵性の装置において、ワーク13が摺動接触する部材12が、硬質な材質の基材と、該基材表面に形成されたダイヤモンド状カーボンからなる皮膜とで構成されている。

Claim (excerpt)：

清浄な環境下でワークを処理する低発塵性の装置において、前記ワークが摺動接触する部材が、硬質な材質の基材と該基材表面に形成されたダイヤモンド状カーボンからなる皮膜とで構成されていることを特徴とする低発塵性の装置。

IPC (4)：

B65G 49/07 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68