Pat
J-GLOBAL ID：200903012116041034
クリーンルーム用保管庫
Inventor：
,
,
,
,
,
,
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小林 傅
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992012311
Publication number (International publication number)：1993201506
Application date： Jan. 27, 1992
Publication date： Aug. 10, 1993
Summary：
【要約】【目的】 ウエハ等を気密性のコンテナに収納して保管するものにおいて、コンテナの汚染に起因するウエハ等のパーティクル汚染等を防ぐことのできるクリーンルーム用保管庫を提供することを目的とする。【構成】 1もしくは複数の保管ユニット10、この保管ユニットの各保管セクションSに対して保管物を出し入れする移載機構を搭載した自動移載装置とを備え、クリーンルーム内に設けられる保管庫において、上記出し入れされる保管物はパーティクル汚染もしくはおよび化学汚染を嫌う物品Wを気密に収納可能で蓋施錠機構を有するコンテナ40であり、当該コンテナに対して上記物品を自動的に出し入れする装置30を備えるとともにコンテナ自動洗浄部50を備えていることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
1もしくは複数の保管ユニットと、この保管ユニットの各保管セクションに対して保管物を出し入れする移載機構を搭載した自動移載装置とを備え、クリーンルーム内に設けられる保管庫において、上記出し入れされる保管物はパーティクル汚染もしくは/および化学汚染を嫌う物品を気密に収納可能で蓋施錠機構を有するコンテナであり、当該コンテナに対して上記物品を自動的に出し入れする装置を備えるとともにコンテナ自動洗浄部を備えていることを特徴とするクリーンルーム用保管庫。
IPC (6)：
B65G 1/02
, A47B 81/00
, B08B 3/02
, B65G 1/04
, F24F 7/06
, F26B 9/00
Cited by examiner (7)
Show all
Return to Previous Page
