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J-GLOBAL ID：200903012166220746
レーザ光学装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
柳田 征史 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997016449
Publication number (International publication number)：1998213778
Application date： Jan. 30, 1997
Publication date： Aug. 11, 1998
Summary：
【要約】【課題】 サイドローブを有するレーザビームからサイドローブを除去して良好なのビーム形状のレーザビームを得る。【解決手段】 サイドローブを有するレーザビームLをミラー23により反射偏向して整形手段10に入射し、この整形手段10を通過したレーザビームL’のビーム光量の一部をフォトダイオード21により検出してレーザビームLが整形手段10を適正に通過しているか否かをしらべる。レーザビームLが適正に整形手段10を通過していない場合には、制御部25がピエゾ素子24を制御してミラー23の角度を調整しレーザビームLの整形手段10への入射角度を調整する。レーザビームLが整形手段10を適正に通過するとき、該レーザビームLはスリット13によりそのサイドローブがカットされてビーム形状が整形される。
Claim (excerpt)：
サイドローブを有するレーザビームを通過せしめて該レーザビームのサイドローブを除去するビーム整形手段と、前記レーザビームが前記整形手段に対して前記サイドローブが除去される所定の位置関係で該整形手段を通過するように前記レーザビーム若しくは前記整形手段を制御する制御手段とを備えてなることを特徴とするレーザ光学装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G02B 27/00 E
, H01S 3/10 Z
