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J-GLOBAL ID：200903012169265970

カラー液晶表示素子とその製造方法

Inventor： 鳥越 恒光
Applicant, Patent owner： カシオ計算機株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995134726
Publication number (International publication number)：1996304814
Application date： May. 09, 1995
Publication date： Nov. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】 低反射率でカラーフィルタの剥離が少ないカラー液晶表示素子とその製造方法を提供することである。【構成】 基板11上にクロムなどを堆積し、これをパターニングしてブラックマスク13を形成する。研磨或いはエッチングにより、ブラックマスク13の表面に凹凸を形成し、ブラックマスク13の反射率を低減させる。続いて、カラーレジストを塗布し、プリベイク、露光、現像、ポストベイクを繰り返して、ブラックマスク13に端部が延在するように各色のカラーフィルタを形成する。ブラックマスク13の表面に凹凸が形成されているので、ブラックマスク13とカラーフィルタ14の固着強度が高く、カラーフィルタ14の剥離が防止される。

Claim (excerpt)：

基板上にブラックマスク膜を形成する工程と、前記ブラックマスク膜を所定形状にパターニングする工程と、前記ブラックマスク膜の表面に凹凸を形成する凹凸形成工程と、パターニングされたブラックマスク膜に端部が重なるように、前記基板上にカラーフィルタを形成するカラーフィルタ形成工程と、を具備することを特徴とするカラー液晶表示素子の製造方法。