Pat

J-GLOBAL ID：200903012174361618

自動焦点合わせ装置

Inventor： 穴澤 紀道
Applicant, Patent owner： 株式会社ホロン
Agent (1)： 岡田 守弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994034340
Publication number (International publication number)：1995245075
Application date： Mar. 04, 1994
Publication date： Sep. 19, 1995
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、荷電粒子線を試料に焦点合わせする自動焦点合わせ装置に関し、荷電粒子線の光軸の近傍に配置したセンサと試料(あるいは試料に対応する平板など)との間の容量を測定して高さ情報を検出し、荷電粒子線の自動焦点合わせを行い、短焦点高分解能の電子顕微鏡などの装置の自動焦点合わせを高精度、迅速かつ簡単な構成で実現することを目的とする。【構成】 荷電粒子線の光軸の周りに、試料4に対向して固定し配置したセンサ11と、試料4とセンサ11との間の容量を測定し、測定した容量に対応した予め測定しておいた電流あるいは電圧に制御し、荷電粒子線を試料4に焦点合わせする制御回路とを備えるように構成する。

Claim (excerpt)：

荷電粒子線を試料に焦点合わせする自動焦点合わせ装置において、荷電粒子線の光軸の周りに、試料(4)に対向して固定し配置したセンサ(11)と、試料(4)と上記センサ(11)との間の容量を測定し、測定した容量に対応した予め測定しておいた電流あるいは電圧に制御し、荷電粒子線を試料(4)に焦点合わせする制御回路とを備えたことを特徴とする自動焦点合わせ装置。

IPC (2)：

H01J 37/21 ,  H01J 37/244