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J-GLOBAL ID：200903012227909319

感光性樹脂組成物

Inventor： 宮川 昌士 ,  大熊 典夫
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991271562
Publication number (International publication number)：1993107753
Application date： Oct. 19, 1991
Publication date： Apr. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ポリ-P-ヒドロキシスチレン系レジストの耐クラック性を向上せしめて、厚膜にてもクラックが発生せず高い解像性を実現できる感光性材料を提供すること。【構成】 ポリ-P-ヒドロキシスチレン、アジド化合物および重量平均分子量が20000以上の水あるいはアルカリ溶解性高分子化合物を含有させてネガ型感光性樹脂組成物を調製する。

Claim (excerpt)：

ポリ-P-ヒドロキシスチレン、アジド化合物および重量平均分子量が20000以上の水あるいはアルカリ溶解性高分子化合物を含むことを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。

IPC (6)：

G03F 7/008 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/038 505 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/06